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安徽首个12英寸晶圆制造项目试产，自主研发12英寸大硅片产品亮相

2017/6/28

历经20个月紧张而有序的建设，2017年6月28日，在合肥综合保税区封关运行两周年之际，坐落在园区内、安徽省较大的集成电路产业项目——合肥晶合12寸晶圆制造基地项目（一期）迎来了竣工典礼暨试产仪式的时刻：经过500多道复杂的工序，首批晶圆预计在7月中旬就能够正式下线。

作为合肥市初个100亿人民币以上的集成电路项目，项目的投产标志着合肥市打造“中国IC之都”的梦想照进了现实，使合肥市在集成电路产业的发展上至少跃进了10年；这也是安徽省D一座12寸晶圆厂，安徽省高品质晶圆制造产业从此开始腾飞。在国家发展集成电路产业的总战略上，安徽省、合肥市已经有了崭新的“坐标”。

航拍合肥晶合12寸晶圆制造基地

据悉，该项目总投资约128亿元人民币，总占地面积316亩，全部达产后可实现4万片12英寸晶圆的月产能，年产值约35亿元。该项目针对国产面板驱动设计专业芯片，开发特色工艺，使面板驱动芯片的设计、制造和使用全部在合肥实现。并且，项目的投产解决“芯”和“屏”结合的难题，5年内将使面板驱动芯片的国产化率提高到30%，打破国产面板芯片全靠进口的局面。

在晶合公司的展厅内，400多位嘉宾参观了合肥集成电路发展史和从沙子到芯片全产业链工艺的展示，安徽易芯半导体有限公司应邀提供的12英寸硅棒和硅片等展品吸引了国内外众多同行的关注。

国家集成电路产业投资基金丁文武总裁、工信部电子信息司彭红兵副司长、安徽省经信委王厚亮副主任等领导和行业专家先后听取了易芯公司总经理马四海先生的介绍。据悉，该产品是以马四海为首的科研团队历经八年开发出来的成果，从大尺寸单晶炉设备、到全自动软件控制系统、再到长晶工艺技术全部为团队自主研发，从设备、控制、工艺三方面填补了国内空白，打破了国外垄断。项目产品已通过行业专业机构检测，包括电阻率均匀性等在内的关键技术参数均达到国际标准。
目前，易芯公司一期项目八台单晶炉设备安装调试接近尾声，水、电、气等厂务环境建设已完成。七月初，将实现八条12英吋单晶硅棒生产线的批量生产，年生产12英寸单晶硅棒170吨（成品），折合硅片约月产8万片。

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